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    尘埃粒子计数器厂家介绍半导体行业洁净室尘埃粒子浓度等级划分原则
    发布时间:2022-02-24 13:44:06   浏览次数:

    洁净室的发展与现代工业、高技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。


    经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准,都规定了有关的洁净度等级,我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84),1996年该规范进行了较大的修改,1990年颁布《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)以指导施工和验收的重要文件。依据美国联邦政府颁布的标准【FederalAtandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级:分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级。


    如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸是0.5um,无尘室等级应以特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺),下面尘埃粒子计数器厂家为大家介绍级别划分。


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    1级;这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的准确要求位亚微米。


    10级;这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。


    100级;很多人认为。这是使用范围面广,因而是重要的无尘车间。人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于植入体内物品的制造,外科手术,包括集成器的制造,那些对细jun感染特别敏感的病人的隔离治iao。


    1000级;这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配高质量微型轴承等。


    10000级;万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。


    100000级;十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压的制造,食品饮料的生产,医药工业也常常使用这上等无尘车间。


    无尘车间是一个多功能的归纳整休,多功能表现在以下两个方面。


    多专业--修建、空调、净化、纯水、纯气;


    多参数--空气洁净度、细jun浓度以及空气的风量、压力、噪声、照度,万级无尘车间强度高,隔热保温,可作天花围护布局板材承重,抗弯抗压,一般洁净室比较少用梁柱。

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